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Benedikt Michel
Physikalisch-chemische Eigenschaften von SiO2-Schichten auf plasmabehandelten Siliziumoberflächen
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 34
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 201  S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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