Hunter John King
Low-Temperature Silicon Deposition by Means of Hot-Wire Chemical Vapour Deposition
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 47
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2022, 114  S., num., mostly col. illus., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Christin Bechtel
Development of a MEMS-based Confocal Laser Scanning Microscope for Fluorescence Imaging
2015, 152   S., 16 Farbabb. 210 mm, Softcover
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Benedikt Michel
Physikalisch-chemische Eigenschaften von SiO2-Schichten auf plasmabehandelten Siliziumoberflächen
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 34
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 201  S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Marko Eichler
Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 32
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 126  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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