Publikationen aus der Reihe: Dresdner Beiträge zur Sensorik Bd 56 (1):

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Stephan Barth
Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
Dresdner Beiträge zur Sensorik Bd.56
2015, 124   S., 2 Farbabb. 225 mm, Softcover
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