Eisenverunreinigungen in multikristallinem Silizium: Gerichtete Erstarrung und Analyse der strukturellen und elektrischen Eigenschaften
Maral Azizi
Hrsg.: Fraunhofer IISB, Erlangen
2014, 202 S., zahlr., z.T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2013
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-0689-6

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Inhalt
In dieser Dissertation wird der Einfluss von Eisenverunreinigungen auf die strukturellen und elektrischen Eigenschaften von multikristallinem Silizium untersucht. Multikristalline Siliziumkristalle wurden nach dem Verfahren der Gerichteten Erstarrung gezüchtet und dabei gezielt mit Eisen kontaminiert. Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt auf eisenbedingten Veränderungen der elektrischen Eigenschaften, wie der Ladungsträgerlebensdauer und dem spezifischen Widerstand. Darüber hinaus werden verschiedene lokale Charakterisierungsverfahren angewendet, um die elektrischen Eigenschaften direkt mit der Eisenverunreinigung zu korrelieren.

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