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Ulrich Hilleringmann
Silizium-Halbleitertechnologie
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
6., Aufl.
2014, XI, 263   S., 160 SW-Abb., 13 Tabellen. 235 mm, Softcover
Vieweg+Teubner

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Thomas Michael Gose
Analyse, Optimierung und Maßstabsübertragung der Herstellung und Aufarbeitung von Siliziumdioxid-Nanopartikeln
Berichte aus Forschung und Entwicklung IGB, Band 46
Hrsg.: Fraunhofer IGB, Stuttgart
2012, 191  S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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