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Katja Steidel
Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke
Hrsg.: Fraunhofer CNT; Dresden
2011, 159  S., zahlr., teilw. farb. Abb., Softcover
Fraunhofer Verlag

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