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Verena Zürbig
Piezo-aktuierte mikro-opto-elektro-mechanische Systeme für aktive Mikrooptik
Science for Systems, Band 29
Hrsg.: Fraunhofer IAF
2017, 176 S., zahlr., meist farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag
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Piezo-aktuierte mikro-opto-elektro-mechanische Systeme für aktive Mikrooptik
Science for Systems, Band 29
Hrsg.: Fraunhofer IAF
2017, 176 S., zahlr., meist farb. Abb. u. Tab., Softcover
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Marko Eichler
Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 32
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 126 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 32
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 126 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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