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Wenke Weinreich
Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren
Hrsg.: Fraunhofer CNT, Dresden
2013, 193 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag
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Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren
Hrsg.: Fraunhofer CNT, Dresden
2013, 193 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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Thomas Oszinda
Characterization and chemical recovery of plasma damaged porous low-k SiOCH dielectric for the semiconductor industry
Hrsg.: Fraunhofer CNT; Dresden
2012, 163 S., num. mostly col. illus. and tables, Softcover
Fraunhofer Verlag
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Characterization and chemical recovery of plasma damaged porous low-k SiOCH dielectric for the semiconductor industry
Hrsg.: Fraunhofer CNT; Dresden
2012, 163 S., num. mostly col. illus. and tables, Softcover
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Katja Steidel
Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke
Hrsg.: Fraunhofer CNT; Dresden
2011, 159 S., zahlr., teilw. farb. Abb., Softcover
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Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke
Hrsg.: Fraunhofer CNT; Dresden
2011, 159 S., zahlr., teilw. farb. Abb., Softcover
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