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Nicola Lang
Kontaktlose Mikroschalter auf der Basis von Dünnschichten aus Aluminiumnitrid und nanokristallinem Diamant
Science for Systems, Band 26
Hrsg.: Oliver Ambacher; Fraunhofer IAF, Freiburg
2016, 146  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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