Henry Beyer, Jochen Borris, Rolf Diehm, Markus Fritsch, Bernd Gründig, Martina Hanner, Torsten Hochsattel, Andreas Reinhardt, Harald Schenk, Matthias Seidel, Raimund Steinhäuser, Michael Thomas, Ernst-Rudolf Weidlich
Modulares Anlagenkonzept zur kontinuierlichen, kostengünstigen Fertigung von strukturierten Metallisierungen für Elektronikkomponenten und Biosensoren (P3T)
Hrsg.: Ernst-Rudolf Weidlich, Michael Thomas; Fraunhofer IST, Braunschweig
2013, 214  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Mercedes Cerezuela Barreto
Atmosphärendruck-Plasmapolymere als Sperrschichten gegen die Migration von Weichmachern
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 37
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2013, 125  S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Artur Laukart
Heißdraht-CVD von Siliziumschichten - Untersuchungen zur Stabilisierung des Abscheideprozesses
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 36
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2013, 184  S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Benedikt Michel
Physikalisch-chemische Eigenschaften von SiO2-Schichten auf plasmabehandelten Siliziumoberflächen
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 34
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 201  S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Kristina Lachmann
Entwicklung und Charakterisierung eines Schichtsystems für Lasermikrodissektion und Laserkatapultieren
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 33
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 187  S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Marko Eichler
Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 32
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 126  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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