Numerische und experimentelle Untersuchung der Strömung sowie der chemischen Reaktionen in einem Prozessbecken für die Herstellung von Silizium-Solarzellen
Solare Energie- und Systemforschung / Solar Energy and Systems Research
Lena Mohr
Hrsg.: Fraunhofer ISE, Freiburg/Brsg.
2021, 232 S., zahlr. Abb. und Tab., Softcover
Freiburg, Univ., Diss., 2021
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-1764-9

Inhalt
Im Rahmen dieser Arbeit werden die strömungs- und reaktionsrelevanten Prozesse in einem nasschemischen Prozessbecken detailliert analysiert und so ein tiefes Verständnis der Vorgänge im Becken erarbeitet. Hierbei ist besonders wichtig, das gesamte System zu verstehen und herauszuarbeiten, welche Phänomene und Bauteile Inhomogenitäten auf der Waferoberfläche hervorrufen und wie diese zu beeinflussen sind. Da die Strömung und die Reaktionsvorgänge während des Prozesses experimentell nicht zugänglich sind, werden die Vorgänge im Prozessbecken mittels Strömungs- und Reaktionsmodellierung erklärt. Dazu ist das Becken aufgrund der Komplexität in Partitionen zu unterteilen. Die partitionierten entwickelten Modelle werden an relevanten Stellen validiert. Referenzdaten aus vorherigen Arbeiten sowie Literaturdaten dienen beim Aufbau der Reaktionsmodellierung als Initialwerte.

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