Herstellung und Untersuchung p-leitender transparenter CuAlO2- und CuCrO2-Schichten
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 40
Christina Schulz
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2014, 149 S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
Braunschweig, TU, Diss., 2014
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-0806-7

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Inhalt
In dieser Arbeit wurden die zwei p-leitenden TCOs CuAlO2 und CuCrO2 auf Basis der Delafossitstruktur untersucht. Ihre Anwendungen liegen in der transparenten Elektronik, um vollständig oxidische Halbleiter-Bauelemente zu realisieren. Beide Materialien wurden im Sputterverfahren abgeschieden und anschließend getempert. Die prinzipielle Einsetzbarkeit in vollständig oxidischen Bauteilen ließ sich mit einer transparenten CuCrO2-ZnO:Al-Diode nachweisen.

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