Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen
Solare Energie- und Systemforschung / Solar Energy and Systems Research
Marion Drießen
Hrsg.: Fraunhofer ISE, Freiburg/Brsg.
2014, 191 S., zahlr. teils farbige Abb. u. Tab.., Softcover
Konstanz, Univ., Diss., 2013
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-0651-3

zur Open Access Version

Inhalt
Kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen, welche auf dem Ansatz des epitaktischen Waferäquivalents beruhen, vereinen Vorteile Wafer-basierter Silicium-Solarzellen und der Dünnschichttechnologie. In dieser Arbeit werden Gasphasenätzprozesse betrachtet, welche die Herstellung der epitaktischen Waferäquivalente vereinfachen. Der Prozess des lateralen epitaktischen Überwachsens wird untersucht, um eine verbesserte Optik und Effizienz zu erreichen.

Verfügbare Formate